萊寶磁懸浮分子泵 MAG integra

1.1設計和功能

渦輪分子泵基本包括泵殼、多級轉子以及成套定子、驅動器以及磁懸浮軸承。

轉子

轉子采用合金鋁制造，包括渦輪級和Holweck級。

磁懸浮軸承

MAG有內置精密5軸定位磁懸浮軸承，轉子懸掛在免維護的磁懸浮軸承上。

這種軸承原理使分子泵可以任意角度安裝并保證了運行的振動非常低。磁懸浮軸承運行不需要任何油脂潤滑從而保證了超級清潔的真空。

保護軸承

保護軸承用于在運行期間發(fā)生沖擊時使轉子保持機械穩(wěn)定。只有在有強振動或者電子元件有故障時，才使用保護軸承。

電源電壓中斷后，渦輪分子泵用作發(fā)電機向變頻器供電。轉子減速達到大約100赫茲，然后降落到保護軸承。

MAG采用水冷，可以配置保護氣/破空閥。受控同步電動機用于為轉子提供動力。

變頻器

電動機驅動電壓和磁懸浮軸承運行電壓由MAGDRIVEiM變頻器提供。它還自動監(jiān)控這