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標(biāo)準(zhǔn)氣體廠家有哪些

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標(biāo)準(zhǔn)氣體廠家有哪些


標(biāo)準(zhǔn)氣體廠家有哪些:近年來,隨著電子工業(yè)的快速發(fā)展,電子氣體在半導(dǎo)體行業(yè)中的地位日益凸顯。電子氣體作為芯片制造的核心原材料,是市場價(jià)值除硅晶圓之外的最大材料,其重要性不言而喻。今天小編整理了電子氣體市場情況和國內(nèi)外主要公司,希望對(duì)您有所幫助。

01市場格局

國外氣體企業(yè)在國際氣體市場中占有寡頭地位。電子特氣行業(yè)具有較高的進(jìn)入壁壘,空氣化工、林德集團(tuán)、液化空氣和大陽日酸等四大公司控制著全球90%以上的市場份額,呈現(xiàn)寡頭壟斷的格局。在國內(nèi)市場,海外四大氣體巨頭控制了我國電子特氣市場88%的份額,國內(nèi)氣體公司市場份額合計(jì)僅占12%,國內(nèi)企業(yè)占比較低。電子氣體長期處于“卡脖子”狀態(tài)。

02國內(nèi)外部分電子氣體公司

01歐美公司

美國空氣化工產(chǎn)品

空氣化工產(chǎn)品(APD)在1940年成立于美國賓州,是全球第三大氣體供應(yīng)商。銷售和服務(wù)空分氣體、特種氣體、氣體設(shè)備等。

APD公司是世界大宗工業(yè)氣體巨頭,也是電子特種氣體行業(yè)的先驅(qū)。APD公司主要生產(chǎn)大宗工業(yè)氣體和稀有氣體。大宗工業(yè)氣體包含氧氣,氮?dú)夂蜌鍤獾葰怏w,也包含氫氣、氦氣、二氧化碳、一氧化碳和合成氣等工業(yè)氣體。2020年度營業(yè)收入為891.9億美元,凈利潤為17.6億美元。

林德集團(tuán)

林德集團(tuán)1879年成立于英國,2018年與氣體行業(yè)巨頭普萊克斯合并,成為全球最大的工業(yè)氣體供應(yīng)商。林德集團(tuán)氣體業(yè)務(wù)遍布全球,也是最早進(jìn)入中國的、布局最多的氣體行業(yè)外資巨頭。

2020年全年公司銷售額為272億美元,營業(yè)利潤為58億美元,同比上漲10%

林德集團(tuán)成立聯(lián)華林德,主攻中國市場。聯(lián)華林德自1984年以來,一直引領(lǐng)著中國大陸和臺(tái)灣的氣體供應(yīng),并獲得了中國大陸和臺(tái)灣的大宗氣體市場份額第一、電子特種氣體市場份額第五的成績。

針對(duì)半導(dǎo)體,聯(lián)華林德能提供涵蓋所有制造工藝的電子特種氣體廣泛的產(chǎn)品組合和大宗氣體解決方案;面向平板顯示領(lǐng)域,聯(lián)華林德則有強(qiáng)大的N2O供應(yīng)能力,還有專利的合成和純化技術(shù);在太陽能領(lǐng)域,則有硅烷(SiH4)和氨氣(NH3)的全球供應(yīng)網(wǎng)絡(luò);除了臺(tái)積電,中芯國際、長江存儲(chǔ)、長鑫科技以外,Intel大連、Samsung蘇州、京東方、華星光電都是林德集團(tuán)服務(wù)過的客戶。

法國液空集團(tuán)

法國液空集團(tuán)1902年成立于法國巴黎,在林德集團(tuán)與普萊克斯合并前是全球市值最大的氣體供應(yīng)商。液化空氣集團(tuán)氣體業(yè)務(wù)遍布全球,主要為冶金、化工、能源等行業(yè)客戶供應(yīng)氧氣、氮?dú)?、氬氣、氫氣、一氧化氮等產(chǎn)品,也為汽車、制造業(yè)、食品、醫(yī)藥、科技等行業(yè)客戶提供工業(yè)氣體、制氣設(shè)備、安全裝臵等。

法國液空集團(tuán)2020全年銷售額204.85億歐元(約244億美元。其中,氣體與服務(wù)銷售額196.65億歐元。

02日本公司

日本的特氣供給在行業(yè)內(nèi)處于領(lǐng)先地位。當(dāng)前在日本國內(nèi),半導(dǎo)體方面的高純度氣體市場規(guī)模約為40億元左右,在全球市場規(guī)模更大,約335億元。其“主戰(zhàn)場”為韓國、中國臺(tái)灣、中國大陸等東南亞地區(qū)。另一方面,供應(yīng)高純度氣體的廠家依舊是日本企業(yè)占大多數(shù)。如昭和電工、太陽日酸、關(guān)東電化工業(yè)、ADEKA(艾迪科)、日本中央銷子、住友精華、大金工業(yè)等都生產(chǎn)和銷售各種電子材料方面的氣體。

昭和電工

日本昭和電工成立于1939年,是全球知名的綜合性集團(tuán)企業(yè),生產(chǎn)的產(chǎn)品涉及多種領(lǐng)域,設(shè)有化學(xué)品事業(yè)部,專門從事產(chǎn)業(yè)氣體、電子材料用高純度氣體的研發(fā)、生產(chǎn)。

昭和電工株式會(huì)社在上海的生產(chǎn)基地-上海昭和電子化學(xué)材料有限公司的旁邊取得第二工廠建設(shè)用地,建設(shè)高純度N2O(一氧化二氮)和高純度C4F8(八氟環(huán)丁烷)的生產(chǎn)設(shè)施,以及高壓氣體危險(xiǎn)品倉庫。第二工廠擬于2021年下半年投產(chǎn)。高純度N2O主要是半導(dǎo)體及顯示屏制造時(shí)的氧化膜的氧來源的特種氣體,高純度C4F8主要是這種氧化膜的微細(xì)加工(蝕刻)時(shí)的特種氣體。

太陽日酸

TaiyoNipponSanso(太陽日酸)大陽日酸株式會(huì)社創(chuàng)立于1910年,是日本最大工業(yè)氣體制造商,至今發(fā)展已經(jīng)有近110年歷史,同時(shí)公司為領(lǐng)先的半導(dǎo)體氣體供應(yīng)商,廣泛應(yīng)用于IC(集成電路)和存儲(chǔ)器(半導(dǎo)體存儲(chǔ)設(shè)備)、液晶、太陽能電池、LED和超精細(xì)機(jī)械結(jié)構(gòu)。太陽日酸的電子特氣產(chǎn)品覆蓋了半導(dǎo)體制程中從沉積,清洗,蝕刻再到離子注入等不同環(huán)節(jié),還兼顧了用于保護(hù)的惰性氣體品類。除了直接提供氣體產(chǎn)品,太陽日酸還為客戶提供一系列氣體設(shè)備,供客戶現(xiàn)場制備氣體和儲(chǔ)存氣體而使用。

關(guān)東電化

日本關(guān)東電化工業(yè)公司歷史悠久,技術(shù)積累深厚。它成立于1938年,在電解領(lǐng)域,主要是在氫氟酸電解制備高純氟氣,和氟相關(guān)的技術(shù)方面有深厚的知識(shí)和技巧的積累。主要應(yīng)用領(lǐng)域包括電池化學(xué)、醫(yī)藥化學(xué)和農(nóng)業(yè)化學(xué)等。日本關(guān)東電化工業(yè)在半導(dǎo)體領(lǐng)域主要以氟化物氣體為主。從生產(chǎn)環(huán)節(jié)上來說覆蓋了半導(dǎo)體清洗,蝕刻和沉積環(huán)節(jié)。

艾迪科

艾迪科(ADEKA)是在歷史悠久的食品和化工綜合供應(yīng)商。。

ADEKA在半導(dǎo)體電子特氣方面以三種刻蝕氣體為主。它們分別是高純氯氣、高純溴化氫和高純?nèi)然稹_@三種氣體在半導(dǎo)體材料的刻蝕流程上均有重要應(yīng)用。

03國內(nèi)公司

我們通過對(duì)國內(nèi)電子特氣公司進(jìn)行梳理,國內(nèi)特氣公司實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代呈現(xiàn)四個(gè)層級(jí):

1)通過產(chǎn)能優(yōu)勢(shì)快速切入半導(dǎo)體刻蝕氣體,部分含氟氣體已經(jīng)實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代,如三氟化氮、六氟化硫,代表企業(yè)有中航重工(718所)、昊華科技(黎明院)、雅克科技(科美特)、南大光電(飛源氣體)。

2)通過技術(shù)升級(jí)切入半導(dǎo)體化學(xué)沉積,部分國產(chǎn)替代初顯成效,如六氟化鎢、四氟化碳,代表企業(yè)有中航重工(718所)、昊華科技(黎明院)、雅克科技(科美特)。

3)通過某種特氣進(jìn)入核心供應(yīng)商,切入多種半導(dǎo)體氣體,代表企業(yè)有華特氣體、南大光電。

4)從空分氣體或者大化工進(jìn)入半導(dǎo)體領(lǐng)域,具備技術(shù)及產(chǎn)能儲(chǔ)備,代表企業(yè)有巨化股份(中巨芯)、三孚股份、金宏氣體、凱美特氣、和遠(yuǎn)氣體。

中航重工(718所)

主要涉及氣體:刻蝕氣體,鎢沉積氣體

七一八研究所隸屬于世界500強(qiáng)中國船舶集團(tuán)有限公司,創(chuàng)立于1966年,總部位于河北省邯鄲市,已形成電子特氣材料、精細(xì)化工、空氣凈化、氫能產(chǎn)業(yè)、核電裝備、節(jié)能環(huán)保、安防信息工程及特種裝備等8大產(chǎn)業(yè)方向。

目前,中船重工第七一八研究所(派瑞特種氣體有限公司)生產(chǎn)的三氟化氮、六氟化鎢及三氟甲磺酸系列產(chǎn)品在國內(nèi)占有率第一,同時(shí)銷往國外二十多個(gè)國家和地區(qū)。

昊華科技

主要涉及氣體:刻蝕氣體,鎢沉積氣體

昊華化工科技集團(tuán)股份有限公司(昊華科技)及其下屬研究所歷史悠久,積累深厚。

昊華科技旗下黎明院和光明院是承擔(dān)著主要電子特氣業(yè)務(wù)的子公司。其中光明院以氫化物氣體為主,比如硫化氫硒化氫;而黎明院以氟化氣體為主,比如三氟化氮,四氟化碳,六氟化硫和六氟化鎢。

公司子公司黎明院是最早從事六氟化硫研發(fā)的企業(yè),亦是國內(nèi)僅有的高純度六氟化硫研制企業(yè)。黎明院含氟氣體達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先水平,主攻六氟化硫、三氟化氮。

光明院主要產(chǎn)品為各類特種氣體、工業(yè)氣體,并提供成套工藝設(shè)計(jì)、設(shè)備加工、技術(shù)轉(zhuǎn)讓及氣體檢測等服務(wù)。

華特氣體

主要涉及氣體:光刻氣、刻蝕氣體、摻雜氣體等

廣東華特氣體股份有限公司創(chuàng)建于1999年,主營業(yè)務(wù)以特種氣體的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售為核心,以普通工業(yè)氣體和相關(guān)氣體設(shè)備與工程業(yè)務(wù)為輔。公司的特種氣體產(chǎn)品至今已有約230余種,率先實(shí)現(xiàn)了包括高純四氟化碳、高純六氟乙烷、光刻氣、高純二氧化碳等近20種產(chǎn)品的進(jìn)口替代,是中國特種氣體國產(chǎn)化的先行者。

雅克科技

主要涉及氣體:刻蝕氣體

雅克科技股份有限公司為深交所上市公司。2017年10月份,公司收購成都科美特特種氣體有限公司90%股權(quán)、江蘇先科半導(dǎo)體新材料有限公司84.825%股權(quán)。在電子特氣方面,雅克科技的“電子”事業(yè)部目前生產(chǎn)和銷售四氟化碳和六氟化硫,這兩種材料可以用于半導(dǎo)體的蝕刻和半導(dǎo)體制造設(shè)備的清洗。雅克科技除了目前在售的三氟化碳和六氟化硫以外,還在規(guī)劃新增三氟化氮和高純氫氣的產(chǎn)能。

科美特產(chǎn)品已進(jìn)入半導(dǎo)體特種氣體供應(yīng)鏈??泼捞噩F(xiàn)已具備年產(chǎn)六氟化硫8500噸和年產(chǎn)1200噸電子級(jí)四氟化碳的生產(chǎn)能力,年產(chǎn)3500噸半導(dǎo)體用電子級(jí)三氟化氮項(xiàng)目正在建設(shè)中,對(duì)高純含氟特氣的制備、提純與充裝等關(guān)鍵技術(shù)具備的獨(dú)到理解,科美特通過積極研發(fā)開拓高附加值的IC電子特氣產(chǎn)品,半導(dǎo)體級(jí)四氟化碳已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)銷售,六氟化硫達(dá)到電子級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。

南大光電

主要涉及氣體:離子注入氣體,刻蝕氣體,鎢沉積氣體

江蘇南大光電材料股份有限公司是一家專業(yè)從事高純電子材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高新技術(shù)企業(yè)。南大光電立足LED氣體,沖擊集成電路特氣,南大光電的電子氣體在LED領(lǐng)域占有主導(dǎo)地位。南大光電的主要產(chǎn)品MO源在國內(nèi)外LED市場處于領(lǐng)先地位,是歐司朗、飛利普、科瑞等跨國公司的重要供應(yīng)商。

金宏氣體

主要涉及氣體:刻蝕氣體,沉積氣體

蘇州金宏氣體股份有限公司成立于1999年,一家專業(yè)從事氣體研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)的環(huán)保集約型綜合氣體供應(yīng)商。已初步建立品類完備、布局合理、配送可靠的氣體供應(yīng)和服務(wù)網(wǎng)絡(luò),能夠?yàn)殡娮影雽?dǎo)體、醫(yī)療健康、節(jié)能環(huán)保、新材料、新能源、高端裝備制造等行業(yè)客戶提供特種氣體、大宗氣體和天然氣三大類100多個(gè)氣體品種。

巨化股份

主要涉及氣體:刻蝕氣體,沉積氣體

巨化股份是由基礎(chǔ)化工產(chǎn)業(yè)企業(yè)逐步轉(zhuǎn)型的中國氟化工行業(yè)領(lǐng)先的企業(yè)。巨化股份成立于1998年,經(jīng)過20多年的發(fā)展,巨化股份已經(jīng)形成了包括基礎(chǔ)配套原料、氟制冷劑、有機(jī)氟單體、含氟聚合物、含氟專用化學(xué)品等在內(nèi)的完整的氟化工產(chǎn)業(yè)鏈,并涉足石油化工產(chǎn)業(yè)。

前期大手筆投入電子特氣,博瑞電子為實(shí)施主體,設(shè)立了子公司博瑞電子,專注于電子特氣的生產(chǎn)和銷售,并連續(xù)數(shù)年巨額投資建設(shè)電子特氣技術(shù)和產(chǎn)能。

凱美特氣

主要涉及氣體:稀有氣體

凱美特氣是中國國內(nèi)化工尾氣分離行業(yè)的龍頭。凱美特氣進(jìn)軍電子氣體業(yè)務(wù),建25套電子特種氣體項(xiàng)目生產(chǎn)裝臵,采用低溫吸附、深冷精餾分離、電解、催化合成技術(shù)。該項(xiàng)目產(chǎn)品為“高端、精細(xì)、專業(yè)”的電子特種氣體混配氣體及同位素,屬于電子化學(xué)品和核能范圍內(nèi)的同位素,應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,主要用于生產(chǎn)環(huán)節(jié)隔離去氧化、做保護(hù)氣、半導(dǎo)體清潔氣體等。

三孚股份

主要涉及氣體:外延沉積氣體

三孚股份是一家資源綜合利用,產(chǎn)業(yè)循環(huán)發(fā)展的高科技化工企業(yè)。2017年6月滬市上市。三孚主要產(chǎn)品包括三氯氫硅、四氯化硅、光纖四氯化硅、氫氧化鉀、硫酸鉀、特種氣體等。

和遠(yuǎn)氣體

主要涉及氣體:空分大宗氣體和高純氫氣、氧氣

致力于各類氣體產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)以及工業(yè)尾氣回收循環(huán)利用,公司經(jīng)營的主要?dú)怏w可大致分為三類:普通氣體、特種氣體以及清潔能源。主要滿足化工、食品能源、照明、家電、鋼鐵、機(jī)械、農(nóng)業(yè)等基礎(chǔ)行業(yè)和光伏、通信、電子、醫(yī)療等新興產(chǎn)業(yè)對(duì)氣體和清潔能源的需求。

我國國內(nèi)某些電子氣體發(fā)展很快,已經(jīng)打入了下游客戶的供應(yīng)鏈。比如:

華特氣體的高純氟代烷烴已經(jīng)進(jìn)入了英特爾、美光科技、德州儀器、海力士等國際客戶和中芯國際、華虹宏力、長江存儲(chǔ)、武漢新芯、華潤微電子、臺(tái)積電(中國)、和艦科技、士蘭微電子、柔宇科技、京東方等客戶的供應(yīng)鏈,其光刻氣產(chǎn)品于2017年通過全球最大的光刻機(jī)供應(yīng)商ASML公司的產(chǎn)品認(rèn)證,是我國唯一,世界僅有的四家氣體公司之一;

金宏氣體是國內(nèi)率先打破高純氨技術(shù)壟斷的公司,已經(jīng)得到了聯(lián)芯、華潤微、京東方、三星電子等的認(rèn)證,在國內(nèi)的市場占有率超過50%;

昊華科技的六氟化硫和三氟化氮、南大光電的磷烷和砷烷、北方特氣的乙硼烷、硅烷科技的硅烷、派瑞特氣的三氟化氮和六氟化鎢等等,都通過自主研發(fā)打破了國外的技術(shù)壟斷,并已經(jīng)在一定程度上得到了客戶的認(rèn)可。

外國氣體公司在華的壟斷局面已經(jīng)松動(dòng),電子特氣市場將迎來越來越多的中國“芯”勢(shì)力。

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